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CMPコンディショナー
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フレキシブルファイバーコンディショナー
![](https://www.skbrush.co.jp/wp/wp-content/uploads/2021/11/pickup-06.jpg)
フレキシブルファイバーコンディショナーとは、半導体製造の平坦化プロセスのCMP(Chemical Mechanical Polishing)工程で用いる研磨パッドの表面性状を再生する目的で開発した、ブラシを用いたコンディショナーです。当社が試作段階から技術協力し、発明者や大学と共同研究した新発想の製品です。
製品のバリエーション
![フレキシブルファイバーコンディショナー](/wp/wp-content/themes/understrap-child/img/products/pickup-06/pickup-01.jpg)
![利用イメージ](/wp/wp-content/themes/understrap-child/img/products/pickup-06/pickup-02.jpg)
利用イメージ
フレキシブルファイバーコンディショナーの特徴
- 半導体製造の平坦化プロセスCMP(Chemical Mechanical Polishing)で用いる研磨パッドの表面性状を再生します。
- 硬質発泡ウレタンパッドのコンディショニングが可能です。
- ファイバー先端の微小振動(自励振動)によって、より細やかな効果を発揮します。
- 硬質発泡ウレタンパッドの場合、ダイヤモンド砥粒を電着させたダイヤモンドコンディショナーと比較してより表面を整える効果が高いことが実証されています。
- 金属汚染フリーを実現します。
![ステンレス鋼線によるコンディショニング](/wp/wp-content/themes/understrap-child/img/products/pickup-06/pickup-03.jpg)
ステンレス鋼線によるコンディショニング
![セラミックによるコンディショニング](/wp/wp-content/themes/understrap-child/img/products/pickup-06/pickup-04.jpg)
セラミックによるコンディショニング
![パッド表面(ダイヤモンドコンディショナー)](/wp/wp-content/themes/understrap-child/img/products/pickup-06/pickup-05.jpg)
パッド表面(ダイヤモンドコンディショナー)
![パッド表面(FFC)](/wp/wp-content/themes/understrap-child/img/products/pickup-06/pickup-06.jpg)
パッド表面(FFC)
用途・機能
研磨・研削
仕様・構造
毛材 | ステンレス鋼線、PEEK、セラミック |
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- 弾力・弾性
- 研ぐ・磨く(研磨)
- 精密洗浄
- 耐久性・長寿命
- 耐摩耗