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CMPコンディショナー
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フレキシブルファイバーコンディショナー
フレキシブルファイバーコンディショナーとは、半導体製造の平坦化プロセスのCMP（Chemical Mechanical Polishing）工程で用いる研磨パッドの表面性状を再生する目的で開発した、ブラシを用いたコンディショナーです。当社が試作段階から技術協力し、発明者や大学と共同研究した新発想の製品です。
製品のバリエーション
利用イメージ
フレキシブルファイバーコンディショナーの特徴
- 半導体製造の平坦化プロセスCMP（Chemical Mechanical Polishing）で用いる研磨パッドの表面性状を再生します。
- 硬質発泡ウレタンパッドのコンディショニングが可能です。
- ファイバー先端の微小振動（自励振動）によって、より細やかな効果を発揮します。
- 硬質発泡ウレタンパッドの場合、ダイヤモンド砥粒を電着させたダイヤモンドコンディショナーと比較してより表面を整える効果が高いことが実証されています。
- 金属汚染フリーを実現します。
ステンレス鋼線によるコンディショニング
セラミックによるコンディショニング
パッド表面（ダイヤモンドコンディショナー）
パッド表面（FFC）
用途・機能
研磨・研削
仕様・構造
| 毛材 | ステンレス鋼線、PEEK、セラミック |
|---|
- 弾力・弾性
- 研ぐ・磨く（研磨）
- 精密洗浄
- 耐久性・長寿命
- 耐摩耗
